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微納制造技術在傳感器的應用

點擊量:1270 日期:2022-05-05 編輯:硅時代

微納制造技術是建筑納米科技大廈的基石之一,其在傳感器上的應用成果即MEMS傳感器,包括壓力傳感器,加速度傳感器,圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)療,汽車電子,運動追蹤等領域都有廣泛應用。

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